从以上五个电镀行业超纯水设备工艺流程可以知道，工艺流程一和工艺流程二采用预处理、单机反渗透、混床或者EDI电去离子都可以使水质达到16MΩ.cm以上即0.06 μs/ ㎝以下,工艺流程三、四相比较，除采用以上工艺之外，还加上了抛光混床，进一步提高超纯水水质，工艺流程五与工艺流程三、四相比，采用了双级反渗透设备系统。后三种工艺流程的水质都可以达到18MΩ.cm以上即0.055μs/ ㎝以下。

    EDI超纯水设备与混床超纯水设备相比，EDI技术是先进的超纯水制取工艺，出水水质更稳定，可以连续的生产符合用户要求的超纯水，不停机。也不需要酸碱再生，没有污水排放等困扰，运行费用低，但是前期采购成本要比混床系统高；而混床超纯水设备出水水质会随着使用时间相应下降，设备运行后期水质波动较大，因此不能连续稳定的产水。并且树脂失效后需要具有高技术的工作人员进行酸碱再生，同时也有酸碱废水需要排放，所以前期成本低，但后期维护比较麻烦。